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亞科提供設(shè)備:檢測(cè)設(shè)備:原子力顯微鏡、三維光學(xué)表面輪廓儀(白光干涉儀)、臺(tái)階儀、摩擦磨損測(cè)試儀、桌面掃描電鏡、場(chǎng)發(fā)射電鏡、X射線衍射儀XRD、X射線熒光光譜儀、傅里葉紅外光譜儀、橢偏儀、反射儀;前道工藝設(shè)備:PVD、PECVD、ICPECVD、LPCVD、氧化爐、快速退火爐、高溫氧化爐、PE-ALD、分子束外延MBE、離子注入設(shè)備、擴(kuò)散爐、晶圓鍵合機(jī)、光刻機(jī)、納米壓印設(shè)備、勻膠顯影設(shè)備、感應(yīng)耦合等離子體刻蝕機(jī)ICP、反應(yīng)離子刻蝕機(jī)RIE、深硅刻蝕設(shè)備、氣體刻蝕設(shè)備、離子束刻蝕機(jī)、濕法刻蝕、研磨拋光機(jī)、劃片機(jī)、濕法清洗機(jī);微組裝設(shè)備:粘片機(jī)(全自動(dòng)和半自動(dòng))、鍵合機(jī)(全自動(dòng)和半自動(dòng))、封焊機(jī)、推拉力測(cè)試儀、倒裝焊等;LTCC設(shè)備:流延機(jī)、裁片機(jī)、沖孔機(jī)、印刷填孔機(jī)、疊片機(jī)、層壓機(jī)\\\\等靜壓機(jī)\\\\溫水壓機(jī)、切割機(jī)、排膠機(jī)、燒結(jié)爐等
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