MCV系列質(zhì)量流量控制器

適用于真空噴涂工業(yè)

Alicat的MCV質(zhì)量流量控制器是根據(jù)真空涂層和噴濺過程中所要求快速關(guān)閉功能而設(shè)計的。一個啟動截止閥是常閉的，并且保證一個大氣壓下氦氣最大泄露為1 x 10^-9下有效的關(guān)閉。
    MCV質(zhì)量流量控制器采用的是與其他alicat產(chǎn)品一樣的層流差壓式專利技術(shù)。在速度和精度需要計算時，MCV所體現(xiàn)的完美的精度和響應(yīng)時間。
    Alicat 的MCV可以在響應(yīng)時間為50-100ms的條件下控制從0.5sccm的小流量到20slpm的大流量-響應(yīng)時間可以大大的改良你的最終產(chǎn)品，并且?guī)椭懦`差。
    每個MCV都是預(yù)先設(shè)定的30種校準氣體和顯示質(zhì)量流量、體積流量、絕壓和溫度。Alicat的MCV也可以直接通過設(shè)備的按鍵或者RS-232來編程設(shè)定，使用RS-232可以通過一對線串聯(lián)最多26臺設(shè)備。
    MCV供電電壓為12-30Vdc，單一輸入和輸出暴漏0-5Vdc。0-10Vdc、4-20mA和RS-232（可選PROFIBUS）

特點和優(yōu)點

· 響應(yīng)時間50-100ms

· 量程 0.5sccm-20slpm

·   模擬和數(shù)字通信（可選PROFIBUS）

· 30種預(yù)設(shè)定校準氣體

·  精度±0.8% 的讀數(shù)±0.2% 滿刻度

·   可選高精度±0.4% 的讀數(shù)±0.2% 滿刻度

·   操作量程1%-100%

· 數(shù)字顯示質(zhì)量流量、體積流量、絕壓和溫度

· 無預(yù)熱時間

·  小巧設(shè)計，方便替換其他設(shè)備

·  保證標準大氣壓下氦氣最大泄露1 x 10^-9的氣動截止閥

·   終身維修