:導電膜玻璃、ITO玻璃、FTO玻璃、ITO導電玻璃
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更新日期2022-04-01 20:53
品牌: |
尚陽 |
所在地: |
江蘇 蘇州市 |
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ITO導電玻璃,又叫ITO導電膜玻璃。它指的就是在鈉鈣基或硅硼基基片玻璃的基礎上,利用磁控濺射的方法鍍上一層氧化銦錫膜加工而成的玻璃。這種鍍在基礎玻璃上的氧化煙錫,就是業(yè)內俗稱的ITO,而這層氧化煙錫膜,也被稱作導電膜。
早期的ITO導電膜玻璃是采用銦錫合金作為濺射靶材,進而通過氧化反應形成膜導電膜。但這種材質有這天然的缺陷,比如,它對濺射工藝控制的要求就非常嚴格。因為氧氣流量的輕微波動,可能就會導致氧化反應的不均勻,最終導致膜層的透過率和刻蝕性變差。而如果氧氣流量過大,又會使得靶面濺射效率下降,進而影響膜層的厚度和阻值。 因此,隨著鍍膜技術的不斷發(fā)展和新材料的研發(fā),氧化靶出現(xiàn)了。這種制作工藝就是將高純度的氧化銦和氧化錫超細粉末,按比例充分混合后、采用粉末冶金工藝燒結成固體靶材。這樣的好處是可以避免上述用銦錫合金作為濺射靶材、通過氧化反應形成導電膜的工藝所出現(xiàn)的大部分問題。
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