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更新日期2022-03-14 11:39
品牌: |
無 |
所在地: |
江蘇 蘇州市 |
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激光干涉儀單頻激光干涉儀 從激光器發(fā)出的光束,經(jīng)擴束準直后由分光鏡分為兩路,并分別從固定反射鏡和可動反射鏡反射回來會合在分光鏡上而產(chǎn)生干涉條紋。當可動反射鏡移動時,江蘇通用水平式激光干涉儀品牌排行,干涉條紋的光強變化由接受器中的光電轉(zhuǎn)換元件和電子線路等轉(zhuǎn)換為電脈沖信號,經(jīng)整形、放大后輸入可逆計數(shù)器計算出總脈沖數(shù),再由電子計算機按計算式[356-11]式中λ為 激光波長(N 為電脈沖總數(shù)),算出可動反射鏡的位移量L。使用單頻激光干涉儀時,要求周圍大氣處于穩(wěn)定狀態(tài),各種空氣湍流都會引起直流電平變化而影響測量結(jié)果,江蘇通用水平式激光干涉儀品牌排行,江蘇通用水平式激光干涉儀品牌排行。 一次測量后可同時顯示多區(qū)域測量結(jié)果、光學平行度和材料均勻性的測量, 90°直角棱鏡和角錐測量。江蘇通用水平式激光干涉儀品牌排行
激光干涉儀測量利用的是邁克爾遜干涉原理:(1)從SJ6000激光干涉儀主機出射的激光束(圓偏振光)通過分光鏡后,將分成兩束激光(線偏振光);(2)兩束激光分別經(jīng)由角錐反射鏡A和角錐反射鏡B反射后平行于出射光(紅色線條)返回,通過分光鏡后進行疊加,由于兩束激光頻率相同、振動方向相同且相位差恒定,即滿足干涉條件;(3)角錐反射鏡B每移動半個激光波長的距離,將會產(chǎn)生一次完整的明暗干涉現(xiàn)象。測量距離等于干涉條紋數(shù)乘以激光半波長。江蘇透射波前激光干涉儀參考價不同F(xiàn)數(shù)的球面類(凸面、凹面)光滑表面面形測量 。
由于激光具有極好的時間相干性,其相干距離可以達到數(shù)公里,所以自激光問世以來,以激光為光源的激光干涉儀一直被人們所關注,其應用范圍不斷擴展,激光干涉儀技術(shù)也不斷發(fā)展,出現(xiàn)了各種形式的激光干涉儀。盡管存在各種形式的激光干涉儀,但從原理上講,可以歸結(jié)為單頻激光干涉儀和外差激光干涉儀兩種基本類型。通常用于長度測量的激光干涉儀采用Machelson干涉儀系統(tǒng),圖1為單頻激光干涉儀原理示意圖,分光鏡BS將激光分為2束,一束射向定鏡R,另一束射向動鏡M,當動鏡M移動時,經(jīng)R和M的反射光在O處匯合產(chǎn)生干涉,由于分光鏡金屬膜的附加相移性質(zhì),光電探測器D1、D2接受的信號相位差為90°,用于計數(shù)器的方向辨別。
為什么要用雙頻激光干涉儀?單頻激光干涉儀是一種直流測量系統(tǒng),存在較大的零漂;同時由于空氣湍流,機床油霧,切削屑等會使光束發(fā)生偏移或波面扭曲,導致激光束強度發(fā)生變化,就有可能使光電信號低于計數(shù)器的觸發(fā)電平而使計數(shù)器停止計數(shù)。雙頻激光干涉儀的信號時交流信號,因而對于雙頻激光干涉儀來說,可用放大倍數(shù)較大的交流放大器對干涉信號進行放大,這樣,即使光強衰減90%,依然可以得到合適的電信號。雙頻激光干涉儀可以在恒溫,恒濕,防震的計量室內(nèi)檢定量塊,量桿,刻尺和坐標測量機等,也可以在普通車間內(nèi)為大型機床的刻度進行標定。不同F(xiàn)數(shù)的柱面類(凸面、凹面)光滑表面面形測量。
單頻干涉儀能做的雙頻激光干涉儀都能做,但雙頻干涉儀能做的單頻干涉儀不見得能做。由于歷史、技術(shù)和商業(yè)原因,兩種干涉儀都有著廣泛應用。但在光刻機上,雙頻激光干涉儀獨占市場。單頻干涉儀不需要對市場上的氦氖激光器進行改造,直接可用。但雙頻激光干涉儀用的激光器需要附加技術(shù)使其產(chǎn)生雙頻(兩個頻率)。歷史上,雙頻激光干涉儀測量位移的速度不及單頻激光干涉儀,自從發(fā)明了雙折射-塞曼雙頻激光器,雙頻激光干涉儀的測量速度也達到每秒幾米,與單頻激光器看齊了。激光干涉儀:數(shù)字化動態(tài)分析。江蘇透射波前激光干涉儀原理
航空航天成像系統(tǒng)檢測,超精密機械件檢測,科研和高等教學儀器等眾多領域。江蘇通用水平式激光干涉儀品牌排行
干涉儀是以激光波長為已知長度、利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量工具。 有單頻的和雙頻的兩種。單頻的是在20世紀60年代中期出現(xiàn)的,**初用于檢定基準線紋尺,后又用于在計量室中精密測長。雙頻激光干涉儀是1970年出現(xiàn)的,它適宜在車間中使用。激光干涉儀在極接近標準狀態(tài)(溫度為20℃、大氣壓力為101325帕、相對濕度59%、CO2 含量0.03%)下的測量*度很高,可達1×10。從激光器發(fā)出的光束,經(jīng)擴束準直后由分光鏡分為兩路,并分別從固定反射鏡和可動反射鏡反射回來會合在分光鏡上而產(chǎn)生干涉條紋。當可動反射鏡移動時,干涉條紋的光強變化由接受器中的光電轉(zhuǎn)換元件和電子線路等轉(zhuǎn)換為電,經(jīng)整形、放大后輸入可逆計數(shù)器計算出總脈沖數(shù),再由電子計算機按計算式江蘇通用水平式激光干涉儀品牌排行
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