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更新日期2022-03-17 03:30
品牌： |
未填 |
所在地： |
廣東 深圳市 |
起訂： |
≥1 |
供貨總量： |
10000 |
有效期至： |
長期有效 |
HITACHI S-9220 掃描電子顯微鏡
Configurations:
Magnification: 1000 to 300000x
Measurement range: 0.1-2um
Measurement repeatability: 3nm
Resolution: 3nm
Throughput (20 points continuous): 11 wafers/hour
Stage stop accuracy: ±5.0 um
Resolution: Secondary electron image 3nm
Reproducible precision of measurement: 3δ ≦ 0.005μm
Reproducible precision of the position: Within in ± 5 μm
Prealignment precision of the loader: Within ± 10 μm
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