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更新日期2022-03-17 03:32
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Canon-machinery I-1230 步進式光刻機
用于存儲器布線成膜(Memory Wiring Deposition)的大規(guī)模量產(chǎn)化PVD設(shè)備(12“硅片)。
I-1230用于半導(dǎo)體存儲器互連行業(yè)的傳導(dǎo)金屬加工處理。我們獨創(chuàng)的Caera陰極技術(shù)在反應(yīng)性放電或者在高應(yīng)力材料處理情況下都能保證良好的均一性及極少量particle的產(chǎn)生。擁有這些功能，I-1230能夠?qū)崿F(xiàn)高成品率及高生產(chǎn)率，可大大降低生產(chǎn)成本。
AELA陰極：通過in-situ每個制程工藝(RECIPE)的調(diào)整，可以方便的對陰極磁鐵位置（3軸）的可變均一性、清潔做到最優(yōu)化調(diào)節(jié)處理。
生產(chǎn)量： 80wfs/H 達到世界最高水準(zhǔn)
運轉(zhuǎn)率：>90% 半導(dǎo)體存儲器生產(chǎn)線（故障率<1%）
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