>供應>智能控制>現(xiàn)場總線>CAN>Canon-machinery FPA-6000ES6a 步進式光刻機 深圳市東測科技有限公司公司現(xiàn)貨銷售、租賃惠普（安捷倫）、泰克、安立、愛得萬、橫河、安騰、力科、馬可尼（IFR）、R&S…
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更新日期2022-03-12 17:50
品牌： |
未填 |
所在地： |
廣東 深圳市 |
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10000 |
有效期至： |
長期有效 |
Canon-machinery FPA-6000ES6a 步進式光刻機
實現(xiàn)90nm以下分辨力的高性能KrF曝光裝置(FPA-6000ES6a)
追求高分辨力
裝有數(shù)值孔徑NA0.86的透鏡
采用高效率的照明系統(tǒng)，用高強度RET照明提高生產(chǎn)效率
強化像差校正機構
采用已經(jīng)擁有業(yè)績的FPA－6000系列工作臺(platform)確保設備穩(wěn)定運行
實現(xiàn)了高精度對位
進給芯片的溫度穩(wěn)定化對策
裝置內空間氣流控制的最佳化
對應高數(shù)值孔徑(High NA)的調焦系統(tǒng)
即使在高數(shù)值孔徑(Hign NA)條件下，仍可確保充分的調焦寬容度
采用新的校準機構
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